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無(wú)塵車間的設(shè)計(jì)要求

電子潔凈室的設(shè)計(jì)基于芯片生產(chǎn)車間的、集成電路潔凈室和磁盤(pán)制造車間。除了嚴(yán)格控制粒子外,溫濕度的控制是、。照明(甚至光源的要求)微震等要求更加嚴(yán)格,消除了靜電對(duì)生產(chǎn)產(chǎn)品的影響,使環(huán)境滿足電子產(chǎn)品在清潔環(huán)境中的生產(chǎn)工藝要求。

  

潔凈室(區(qū)域)溫、濕度應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝要求確定。當(dāng)生產(chǎn)過(guò)程沒(méi)有特殊要求時(shí),其溫度可根據(jù)20~26℃,相對(duì)濕度30%~70%使用。人員凈化室和客廳的溫度可在16~28°C使用。根據(jù)符合國(guó)際ISO標(biāo)志的國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)中國(guó),潔凈室(區(qū))的潔凈度等級(jí)為1-9,電子潔凈室,其中1-5,氣流模式為單向流動(dòng)或混合流動(dòng) 6級(jí)氣流模式為非單向流動(dòng),換氣次數(shù)為50-60次/ h; 7級(jí)氣流模式為非單向流動(dòng),空氣交換次數(shù)為15-25次/ h; 8-9氣流流動(dòng)模式是非單向流動(dòng),換氣次數(shù)為10-15次/ h。

穿過(guò)潔凈室(區(qū)域)天花板的各種開(kāi)口的氣密性是確保潔凈室(區(qū)域)清潔和防止污染的重要措施。潔凈室和天花板結(jié)構(gòu)的平整度控制取決于龍骨接點(diǎn)的測(cè)量。精度、水平應(yīng)逐一測(cè)量,龍骨的下平面通過(guò)調(diào)整整個(gè)鋼絲吊架的長(zhǎng)度保持在規(guī)定的偏差范圍內(nèi)。頂板的周邊應(yīng)緊密連接到墻壁上,接頭應(yīng)齊平并密封良好。天花板的高度為板之間的間隙應(yīng)符合設(shè)計(jì)要求。 “規(guī)范”規(guī)定每塊板之間間隙的允許誤差不應(yīng)超過(guò)0.5毫米,密封劑均勻密封。根據(jù)潔凈室施工的實(shí)踐,上述規(guī)定是可行的,也可以做到。

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